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제품상세정보
▣ 액정기판(1m급),PDP기판(1.2m*1.5m)등의 대형화한 기판의 반송에 대응한 대형 기판반송 로봇으로,
RH-1000G의 상위 기종입니다.
▣ 처짐보정축을 표준장착 하였습니다.
▣ 거치형으로 2개 평행 배치의 카세트기판의 반송이 가능합니다.
▣ 주행축(옵션)을 채용하면 주행축 주변에 복수개 배치한 카세트의 접근이 가능합니다.
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