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제품상세정보
▣ 대형 LCD 기판(최대 1100*1100)에 대응하는 고가반질량 및 고속동작이 가능한 대형기판 반송로봇입니다.
▣ 거치형으로 2개 평행 배치의 카세트기판의 반송이 가능합니다.
▣ 주행축(옵션)을 채용하면 주행축 주변에 복수개 배치한 카세트의 접근이 가능합니다.
▣ 더블암의 채용에 따라 고속기판 투입 배출을 실현하였습니다.
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