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진공 WTR
▣ WAFER 이송 진공 로봇으로, Hand의 선단 진동을 최소화 하였습니다.
▣ 경량화,고속화,저진동을 실현하였습니다.
▣ 본체 구동부, 암, 핸드, 주행축 공용화, 각 모듈의 조합으로 다양한 사양의 시스템 구축이 가능합니다.
▣ 암의 반송질량이 3kg으로 웨이퍼는 물론, 카세트 등 중량물 반송도 가능합니다.

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